鐵電分析儀如何針對不同材料應(yīng)變測量？

Huace FE-3000針對不同材料應(yīng)變測量設(shè)計(jì)了塊體與薄膜應(yīng)變測試兩種測量夾具，以下是兩款?yuàn)A具的介紹：

1. 高分辨率pm級測量平臺-振動(dòng)激光干涉測量D33;

2. 可評估piezoMEMS，也可方便實(shí)現(xiàn)塊體與薄膜的夾持；

3. 0.01nm分辨率，2MHz帶寬；

4. 可實(shí)現(xiàn)在RT~250℃的溫度下進(jìn)行測量。

激光測振儀+變溫塊體測試盒

1. 電極較大可調(diào)行程不小于3mm，分辨率0.01mm；

2. 較大樣品尺寸小于30mm；

3. 樣品盒較大試驗(yàn)電壓不低于10kV；

4. 較大加熱溫度:RT~250℃；

5. 采用進(jìn)口品牌溫度控制器；

6. 具有過溫與過流保護(hù)功能。

激光測振儀+變溫塊體測試盒

激光測振儀+高溫塊體測試盒

1. 電極較大可調(diào)行程不小于3mm，分辨率0.01mm；

2. 較大樣品尺寸小于30mm；

3. 樣品盒較大試驗(yàn)電壓不低于10kV；

4. 較大加熱溫度:RT~800℃；

5. 采用進(jìn)口品牌溫度控制器；

6. 具有過溫與過流保護(hù)功能。

激光測振儀+高溫塊體測試盒

激光測振儀高低溫測試夾具

1. 適用于器件與塊體材料應(yīng)變測量；

2. 較大樣品尺寸小于40mm；

3. 樣品盒較大試驗(yàn)電壓不低于2kV；

4. 較大加熱溫度:-196℃ - 250℃；

5. 采用進(jìn)口品牌溫度控制器；

6. 具有過溫與過流保護(hù)功能。

激光測振儀高低溫測試夾具

薄膜懸臂梁測試夾具

激光測振儀與薄膜壓電測試(E31)相結(jié)合，可測量沉積在懸臂上的壓電薄膜的壓電系數(shù)(E31、D31和E33)。施加在壓電薄膜上的電壓使基板向各個(gè)方向彎曲。位移由激光測試振儀進(jìn)時(shí)高速測量。使用薄膜壓電測試套件進(jìn)行的測量包括(但不限):E31、D31、D33、E33與厚度位移與電壓的關(guān)系。

薄膜懸臂梁測試夾具